チタンチューブターゲット

チタン元素で作られたチタン管ターゲット記号Ti、原子番号22、密度4.454g / Cm3、物理的特性：融点1668C℃、沸点3262°C、比熱容量0.52（J /（Kg・K）、蒸発熱421 （KJ / Mol）、溶融熱15.45（KJ / Mol）、導電率0.0234（106 / Cm）。

高純度チタンはコストが高いため、チタン管ターゲットの応用分野は非常に限られており、主に超高真空装置の半導体材料や吸引材料として使用されています。

高純度チタンは水素、CH4、Co2ガスを吸収する能力があるため、高真空および超高真空システムで広く使用できます。Zhongkano製の高純度チタンをスパッタリングしてLSI、VLSI、ULSI回路ネットワークを作成する場合は、これらの集積部品を非常に軽く、薄く、小型で高密度の回路にします。高純度チタンチューブターゲットはバリアメタル材料としても使用できます。

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